ALICAT 科里奧利質量流量計和控制器 CODA系列

品牌: ALICAT

量程100 g / h - 10000 g / h，優于0.5%的精度，優于100 ms響應時間

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ALICAT 氣體質量流量計 20系列

品牌: ALICAT

量 程 0.5 sccm — 6000 slpm
量程比 200：1
內置98種氣體，10ms快速響應時間，精度優于1%

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ALICAT 氣體質量流量計-低壓損型 20W系列

品牌: ALICAT

量 程 0.5 SCCM —— 500 SLPM
量程 比 200：1
滿量程壓損最低可達0.06PSID，且不影響其它任何性能指標

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ALICAT 氣體質量流量計-抗腐蝕型 20S系列

品牌: ALICAT

量 程 0.5 SCCM - 5000 SLPM
精 度 ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）
量程比 100：1
層流差壓原理
抗腐蝕型

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ALICAT 高壓氣體質量流量計 20Q系列

品牌: ALICAT

高壓應用實時多元流量測量

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ALICAT 氣體質量流量控制器 21系列

品牌: ALICAT

量 程0.5 SCCM - 6000 SLPM
響應時間小于100 ms
精 度±（0.8％讀數+0.2％滿量程）

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ALICAT 低壓損氣體質量流量控制器 21W系列

品牌: ALICAT

量 程 0.5 SCCM - 500 SLPM
量程比 200：1
內置98種氣體，100ms快速響應時間，優于1%的精度

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ALICAT 氣體質量流量控制器-耐腐蝕型 21S系列316L

品牌: ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～6000 SLPM
精 度 ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）
可測范圍廣， 1~100%

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ALICAT 高壓氣體質量流量控制器 21Q系列

品牌: ALICAT

響應式氣體流量控制，適用于高壓應用

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ALICAT 帶集成截止閥氣體質量流量控制器 21V系列

品牌: ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM
量程比 200：1
內置98種氣體，100ms響應時間，優于1%精度

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