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ALICAT 氣體質量流量控制器 21系列
品牌: ALICAT
量 程0.5 SCCM - 6000 SLPM 響應時間小于100 ms 精 度±(0.8%讀數+0.2%滿量程)
ALICAT 低壓損氣體質量流量控制器 21W系列
量 程 0.5 SCCM - 500 SLPM 量程比 200:1 內置98種氣體,100ms快速響應時間,優于1%的精度
ALICAT 氣體質量流量控制器-耐腐蝕型 21S系列316L
量 程 0~0.5 SCCM —— 0~6000 SLPM 精 度 ±(0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程) 可測范圍廣, 1~100%
ALICAT 高壓氣體質量流量控制器 21Q系列
響應式氣體流量控制,適用于高壓應用
ALICAT 帶集成截止閥氣體質量流量控制器 21V系列
量 程 0~0.5 SCCM —— 0~20 SLPM 量程比 200:1 內置98種氣體,100ms響應時間,優于1%精度
ALICAT 截止閥質量流量控制器 21VS系列
量 程 0~0.5 SCCM —— 0~20 SLPM 量程比 100:1 內置128種氣體,100ms快速響應時間,優于1%的精度
ALICAT 氣體質量流量控制器 01系列
量程100 SCCM ,1000 SCCM,20 SLPM,50 SLPM 熱貼片原理,體積小巧精致,適合系統集成 100ms快速響應時間,優于2%精度
ALICAT 氣體質量流量控制器-基本型 11系列
量 程 0 ~10 SCCM —— 0 ~20 SLPM 精 度 ± ( 0.8% RD+0.2% FS ) 量程比 200:1